影像测量仪的测量可以是单轴、二维平面的测量，也可以是三维空间坐标的测量,测量时先对焦,取点,最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:

(1)光栅计数尺的误差;

(2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;

(3)工作台两测量轴垂直度带来的误差;

(4)显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差;

(5)测量室温度偏离校准要求的参考温度带来的误差;

(6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。

在这几种因素中,前四项误差,是硬件误差,在仪器制造过程中已经形成并固定下来,一般无法改变;温度影响带来的误差,必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明条件改变时,直接影响被测工件的照明效果和影像质量,主要是因为影像测量仪的图像是通过CCD接收,尽管CCD具有自动调节增益的功能,但当亮度过大时即失去调节功能,导致被测工件影像在缩小,当亮度过低时,工件影像反而变大。

这种影响,对于测量具有重复图形结构之间的间距时,只要整个测量过程中照明条件保持不变,其影响可以忽略,因为每个重复图形结构都同时在变大或变小,间距的测量计算直接消除了影像变形的影响,如测量玻璃尺、网格板刻线间距;除了这种特殊情形外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都将带来明显的误差。

在以影像测量工件样品结构的几何尺寸时,光照明条件的改变将会直接影像被测尺寸,如线宽、圆直径及其他几何形位公差,因次要确保取到的边界点是产品需要检测的边界,在高精度测量中,这是导致测量不确定度增大的关键因素,应引起足够重视。